消除系統(tǒng)油蒸氣返流的具體措施為：
(1)加大擴(kuò)散泵的啟動(dòng)功率來(lái)縮短機(jī)械泵與擴(kuò)散泵切換時(shí)的壓力過(guò)渡區(qū)。
(2)通過(guò)改變系統(tǒng)操作工藝和用閥門(mén)來(lái)避開(kāi)返流危險(xiǎn)區(qū)(切換過(guò)渡區(qū))。例如，可使一個(gè)按照預(yù)定速度開(kāi)啟的高真空閥，逐漸地開(kāi)啟它，保證進(jìn)入擴(kuò)散泵的氣體流量低于它的最大排氣量，并且又使機(jī)械泵抽速保證擴(kuò)散泵前級(jí)壓力，以使擴(kuò)散泵能樹(shù)立工作。這樣就能避開(kāi)過(guò)渡區(qū)的出現(xiàn)。
(3)改善操作工藝，將擴(kuò)散泵的加熱功率調(diào)至最佳功率，避免出現(xiàn)泵油爆沸現(xiàn)象;一般擴(kuò)散泵在加熱開(kāi)始和關(guān)閉過(guò)程中，返流將出現(xiàn)峰值，所以可用泵口處的高真空閥門(mén)來(lái)控制避免返流。
(4)在擴(kuò)散泵入口處加裝液氫冷阱或吸附阱來(lái)捕集返流油蒸氣。
(5)選用優(yōu)質(zhì)的擴(kuò)散泵工作液。
系統(tǒng)中污染物的主要來(lái)源如下：
(1)擴(kuò)散泵油蒸汽的返流。這是最重大的污染源。
(2)系統(tǒng)中的零部件，在裝配時(shí)用有油的手拿。用有油污的手套拿，這樣粘染的有機(jī)分子可以造成系統(tǒng)內(nèi)的污染。
(3)前級(jí)油封機(jī)械泵油的返流。這個(gè)問(wèn)題也很?chē)?yán)重，當(dāng)入口壓力較高時(shí)，在達(dá)到過(guò)渡區(qū)(1～10-1Pa)壓力時(shí)，機(jī)械泵的油蒸汽即可直接進(jìn)入擴(kuò)散泵內(nèi)，對(duì)系統(tǒng)直接進(jìn)行污染。很多真空工藝過(guò)程的污染來(lái)自機(jī)械泵返油。當(dāng)停機(jī)械泵時(shí)如不及時(shí)向泵內(nèi)放大氣，機(jī)械泵油可直接返到擴(kuò)散泵油鍋內(nèi)。當(dāng)擴(kuò)散泵起動(dòng)時(shí)對(duì)系統(tǒng)的污染更為嚴(yán)重。
(4)抽氣系統(tǒng)中密封材料的放氣造成的污染。特別是人造橡膠密封圈，密封油脂，潤(rùn)滑油等，也同樣造成嚴(yán)重的污染。
(5)當(dāng)停泵后放大氣時(shí)，使真空零部件在空氣中粘污上水蒸汽，油煙等，造成對(duì)真空系統(tǒng)的污染。
油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)的最大缺點(diǎn)是油蒸汽的污染。