新聞中心

• 企業(yè)新聞
• 行業(yè)新聞
• 水泵知識
• 水泵原理

• 銷售熱線
  021-56557888
• 傳　　真
  021-51685999
• 免費(fèi)服務(wù)熱線
  800 820 0075
• 反饋信箱
  sales@hs-pv.com

• 高溫齒輪泵與高粘度泵的對比
• 離心泵疑問解答
• 水泵使用維護(hù)和故障排除
• 合理地確定運(yùn)行工況
• 沃基肖水泵為海上平臺服務(wù)

1將真空泵和除害裝置的運(yùn)行成本削減20％以上

 美國應(yīng)用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量，將運(yùn)行成本較原來削減20%以上的系統(tǒng)“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來還計(jì)劃應(yīng)用于蝕刻裝置。

Applied iSYS根據(jù)制程艙內(nèi)的情況控制真空泵和除害裝置的運(yùn)行。比如，應(yīng)用于CVD裝置時，在成膜時及清潔時運(yùn)行真空泵和除害裝置，其他時間使其處于備用狀態(tài)。這樣，可減少用電量及煤氣用量等。應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠的全部CVD工序時，每年可削減真空泵和除害裝置等的運(yùn)行成本200萬美元以上。

據(jù)應(yīng)用材料公司介紹，大型半導(dǎo)體廠商已相繼提出能源削減目標(biāo)。在半導(dǎo)體工廠的能源消耗中，制造裝置占45%，制造裝置所附帶的裝置占42%，其余13%來自照明等

本站信息所有內(nèi)容均來源于網(wǎng)絡(luò)搜集,如有侵權(quán)請?jiān)�作者告知我�?我們將在24小時內(nèi)刪除~謝謝